随着微电子机械系统的不断发展,微流体的驱动和控制技术的重要性越来越引起人们的注意,在微流体驱动和控制技术的研究中,微机械工艺技术往往决定着驱动和控制 的性能,所以开展相应微机械工艺技术的研究对于微流体的驱动和控制是十分重要的。另一方面,微流体的流动特性复杂,而且影响因素众多,尤为重要的一点是,由于流动尺度的减小,在宏观流动中许多被忽略的效应,例如表面效应,在微流体的流动中往往成为流体流动的主要影响因素,这些特点使得微流体的驱动和控制方式与宏观流动控制方式十分不同,而且形式更为多样,在微流体的驱动和控制的研究中,注意到微流体的上述特点,开展相应的微流体流动特性的研究,深入理解驱动的机理,不仅对于发现新的驱动机制,而且对于已有驱动和控制方式性能的提高,都是十分必要的。为了更好地促进微流体驱动技术的发展,微机械技术的专家需要与力学工作者通力合作,共同致力于这一研究。我们相信,随着微机械工艺技术的不断进步和微流体流动机理的深入研究,新的、性能更好的微流体的驱动和控制方式会不断出现在我们面前,作为微流体系统的关键技术,微流体驱动与控制技术的进步将会大大促进微流体系统如微全分析系统,(如微全分析系统 uTAS)的发展。
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