M.Hu等人利用SOI硅片研制了硅薄膜厚度为90μm的微阀,它包括一个六边形孔、一个六边形薄膜和三个柔性支链。在顺压为65.5kPa时，最大流速为35.6mL/min,当反向压力为600kPa时，泄漏速率为0.01 μL/min.在空气中该阀的共振频率为17.7kHz。