B.Li 等人利用原位UV2LIGA工艺，以硅和镍为主要材料研制了一种由80个微阀组成的微阀阵列，该微阀阵列具有大流速(大 于10mL/s)高压力(承载能力大于10MPa)和高工作频率(大于10kHz)的特点。单个微阀为常闭型微阀，它的入口通道和阀塞由硅制造而成，阀瓣由镍制成，与悬臂微梁连接被键合在硅衬底上。在正压力差的作用下,阀瓣被抬起，阀打开；在负压差与悬臂梁弹性回复力的共同作用下，阀被关闭。将阀瓣设计成交叉形状，能有效提高微阀在关闭状态时的承压能力，以及克服阀瓣接触塞子时的黏附问题。