无源微阀在微流体系统中主要被用作止回阀元件,根据是否含有可动部件,它们可被分为含有机械可动部件微阀(如悬臂梁式和薄膜式)和不含机械可动部件微阀(如毛细管微阀)。含可动部件的无源微阀通常只能沿顺压的方向打，呈现二极管特性，结构简单,容易制造,可以由体硅刻蚀、金属沉积、多晶硅或聚合物材料表面微加工工艺制得，但是它的性能受输入压力的影响。毛细管微阀是通过表面张力来调节流体流动,由于没有可动部件,因而通常不易堵塞通道,而扭矩驱动微阀是通过旋紧螺钉将阀关闭,使用十分方便。