Y.C.Goll等人所研制的双稳态微阀由流体腔和驱动腔组成，两腔之间是25μm厚的聚酰亚胺薄膜，薄膜在上下两个方向的最大偏移均为120μm。由于是双稳态微阀，因而需要快速升压和降压以实现阀的开和关。通过快速加热驱动腔中的空气，可以将阀关闭；要使阀打开，需先将驱动腔里的空气加热使之从驱动腔下的孔溢出，然后将电流切断使气体冷却。当输入压力为30kPa时，流速为250μL/s,阀关闭时,泄流速率低于0.001μL/s 。M.Capanu等人研制了一种基于电磁驱动的常闭型双稳态微阀，它主要由两部分构成：上部电镀的金线圈和下部 Ni/Fe合金梁。双稳态性是通过平衡梁的弹力和 46μm厚磁性金属箔的磁力实现的。用去离子水测试阀的动态反应时间，当施加1.16V脉冲电压30ms阀打开；施加1.18V脉冲电压80ms,阀关闭。