静电驱动反应时间快、功率低，但是驱动力较小。此外，由于静电驱动微阀通常是以二进制的模式工作，所以需要使用阀阵列来控制流动。T.Hasegawa等人提出了一种由空气驱动无死体积的微分配系统，其中主要元件就是由微螺线管驱动器实现方向转换的10出口多方向微开关阀。这种开关阀包含带有硅树脂橡胶环的旋转装置和带钢球的自定位闭锁装置。定位装置能精确地自动定位出口并检测当前选中的出口，因而不需要其他传感器和控制器。为使芯片能在500kPa以上的高压下快速转换，硅胶环的高度应为 300μm,转子压缩力为3N, 转子旋转力为0.8N.当在螺线管上施加电压6VDC时，吸引力为1N,开关时间为0.1s。