C.H.Cheng等人在 PDMS 中掺入铁粉，将该混合物填充在硅KOH各向异性刻蚀后的V形腔中,作为阀塞及阀塞支撑。这是一种常闭形微阀，当外加磁场时，阀塞和支撑被抬起，阀被打开。M.Duch等人提出了一 种低功耗、使用方便的磁微阀。这种微阀由上部V形悬臂梁和下部硅隔膜组成,V形悬臂梁上电镀一层 Co2Ni合金.当分别在微阀的上部和下部施加磁场时，阀相应地被打开和关闭，如图1.3-7所示
(a) 微阀打开 (b) 微阀关闭
图1.3-7 磁驱动微流量调节器原理图
C.Fu等人利用直径3mm 铁球作为可由外部磁场驱动的部件研制了一种常开型微球阀。该微球阀由三个热压聚合物层和三个金属层组成，各层通过黏附薄膜连接，开关频率可达30Hz,开关时间为10ms 。当电流为 200mA, 压力为50kPa时，微阀被关闭，泄流速度为0.5L/min。此外，这种微阀还可用作比例阀来调节出口压力，当入口压力为200kPa时，调节范围为0～112.5kPa。
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