根据驱动源的不同,有源微阀又可分为压电、磁、电、热、相变、双稳态有源微阀以及由外部辅助系统如气体驱动的有源微阀,其中热驱动微阀包括热空气、双金属和形状记忆合金微阀，相变微阀包括水凝胶、溶胶—凝胶和石蜡微阀。在这些微阀中，压电阀具有灵敏度高、响应快、死区体积小等特点,应用广泛；静电与磁微阀可以控制流动方向且功耗低；热驱动微阀易于集成化并具有优良的动态特性,适于与硅热流量传感器一体化的应用,但这种微阀消耗的功率多,反应时间长；相变微阀由于成本相对较低,因而在一次性使用的生物芯片中广泛使用,气动微阀因薄膜为弹性材料，能产生较大的变形，所以密封性能很好，泄漏低。