本标准规定了检验文件的内容，该检验  文件既包括指定零件或元件的清洁度要求，又包括用于评价其清洁度等级的检验方法。 清洁度要求和检验方法应由相关各方共同确定和认可。
(1)术语和定义
① 元件清洁度：采用适当的分析方法测得的元件湿表面或受控表面上收集到的污染物数量或特征。
② 污染物：呈现在零件或元件内，或在它们的湿表面或受控表面上，游离的或可分离的固体物质。
③ 受控表面：具有清洁度要求的零件或元件的湿表面。
④ 受控容积：具有清洁度要求的零件或元件的湿容积。
⑤ 终点样本： 一系列重复样本中的最后样本，其对先前样本结果总和的影响不大于10%。
⑥ 检验文件：对零件或元件的清洁度要求及认可的检验方法的书面描述。
⑦ 检验方法：污染物收集、分析和数据报告的实施步骤，用于评价检验文件所规定的零件或元件的清洁度。
⑧ 零件清洁度：采用适当的分析方法测得的零件湿表面或受控表面上收集到的污染物数量或特征。
⑨ 买方：规定机器、设备、系统、零件或元件的要求，并判断产品是否满足这些要求的一方。
⑩ 代表性样本：收集到的能代表零件或元件内部或外部所含有的污染物数量和特征的物质。
⑪ 供货商：根据合同为满足买方的要求而提供产品的一方。
⑫ 试验液：用来从零件或元件中去除、悬浮和收集污染物的合适液体。该液体初始污染度已知，且应与被测零件或元件及使用  的仪器相容。
⑬ 验证：用试验方法评价污染物去除过程效率或确定实验室分析仪器工作正常的证实过程。
⑭ 湿表面：零件或元件接触到系统液体的表面。
(2)检验文件
① 内容；
② 零件或元件的清洁度要求；
③ 检验方法；
④ 有效性；
⑤ 一致性；
⑥ 一致性的验证；
⑦ 附加资料。